尺寸:840*410*500 UVW-Z轴平台主要用于双面电池片的IV检测,该UVW平台采用超薄型,轻量化设计,利用特殊的交叉滚柱导轨施加预压,达到高刚性,高精度,反复定位精度可达±5μm。Z轴探针排可以根据现场情况进行调节以满足不同栅距要求。
尺寸:332*356*765 特征要点: ·支持4inch/5inch/6inch/8inch/12inch Cassette ·Cassette加载检测 ·整体洁净度等级优于ISO Class4 ·Mapping姿态检测最小支持300μm厚度 ·晶圆交接重复性精度≤7μm ·运行速度最大150mm/s ·停电或紧急停止安全原位保持 ·维护MTTR≤30分钟 ·支持SEMI标准