高精度直线模组（丝杠/直驱），多轴运动平台（大理石/铸铁）、EL检测Z轴组件、双面IV-UVW平台、夹板块、220传送组、片库/版库(Lordport)、晶圆预对准模块（Pre-Alignment）、晶圆搬运机械手（Wafer Handling Robot）等设备。